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关于不同类型的气体，高纯气体有不同的纯度目的。如氮气、氢气、氩气、氦气等，通常指纯度大于等于99.999%的;氧气的纯度爲99.99%。它被称爲高纯度氧;关于碳氢化合物，纯度爲99.99%的气体可视爲高纯度的。这种类型气体的运用范围非常普遍。在半导体工业中，高纯度的氮、氢、氩、氦可用作载气和维护气，可作爲制备混合气的底气。工业气体厂家
在这类气体中，按分子结构的不同可分爲无机和无机类型。该气体普遍运用于各种工艺。高它的纯度直接影响工艺和结果，根据技术水平的不同，可以消费的纯度也不均匀。以液化空气爲例，纯度可达99.99995%。
作爲现代工业的重要基础原料，该气体有着普遍的运用。普遍运用于冶金、钢铁、石油、化工、机器、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药、医疗等行业。
电子工业中运用的气体分爲元素气体(如氢、氧、氮和多元气体(硅烷、氯化氢和混合气体(硅烷和氢、磷烷和氮))。气体纯度的含义是指除基本气体外，剩余的末端杂质。气体纯度有很多等级，如普通气体、高纯气体等，至于纯度，则取决于详细的杂质含量。
